高純乙矽烷

沸點一14 . 3}_' ,.熔點一132.5 C' :.是一種無腐蝕性的微毒氣體，對水和酸穩定，遇鹼分解成矽酸鹽和氫，在鹼金屬作用下分解成矽烷和氫。在空氣中能白燃而生成_氧化矽和水。製備時采川矽烷原料氣經質量流量計進入放電管，在適當溫度、頻率和電壓一F生成含一定量乙矽烷、甲烷和氫的混合氣甲混合氣在不同的冷阱進行吸收，雜質被排出，可得高純乙矽烷。可用於太陽能電池生產，分子柬外延和離子注人等技術在}C陽能電池生產上。用乙矽烷比用矽烷在非晶矽片上i}澱積速度快許多倍，且溫度可降低200 ~ 300x'。在離子注人中用乙矽烷作離子源後易起輝、束流強、效果明}d好十用其他氣體作離子源

特性

沸點一14 . 3}_' ,.熔點一132.5 C' :.是一種無腐蝕性的微毒氣體，對水和酸穩定，遇鹼分解成矽酸鹽和氫，在鹼金屬作用下分解成矽烷和氫。在空氣中能白燃而生成_氧化矽和水。製備時采川矽烷原料氣經質量流量計進入放電管，在適當溫度、頻率和電壓一F生成含一定量乙矽烷、甲烷和氫的混合氣甲混合氣在不同的冷阱進行吸收，雜質被排出，可得高純乙矽烷。可用於太陽能電池生產，分子柬外延和離子注人等技術在}C陽能電池生產上。用乙矽烷比用矽烷在非晶矽片上i}澱積速度快許多倍，且溫度可降低200 ~ 300x'。在離子注人中用乙矽烷作離子源後易起輝、束流強、效果明}d好十用其他氣體作離子源

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