顧文琪

顧文琪 中國科學院博士導師。研究員。1964年畢業於北京機械學院。1967年中國科學院電工研究所碩士畢業。

1980年至1983年，作為訪問學者在德國亞深工業大學半導體電子學研究所工作2年。1985年至1987年，作為技術專家受聘於香港華科電子有限公司，從事電子束製版技術工作。1967年起在中國科學院電工研究所工作，曾任該所微細加工研究室主任、副所長，中國科學院高技術局局長、中國科學院綜合計畫局局長。現任該所研究員、博士生導師，中國科學院創新工程重大項目負責人。顧文琪研究員，長期工作在微細加工科研領域，從事電子束曝光技術的研究，注重於電子束曝光系統總體設計和電子光學柱設計，發表論文30多篇。先後主持和參與1:1電子束投影系統、可變矩型電子束曝光機、亞微米電子束曝光機以及0.1微米電子束曝光機裝置研究，目前正主持中國科學院創新工程重大項目——電子束縮小投影成像曝光系統研究，該項目主攻21世紀納米電子束光刻技術。顧文琪研究員，先後獲得中國科學院科技進步二等獎3項：DY-5型亞微米電子束曝光機研製、微米級電子束曝光機實用化、管理現代化的研究和實踐。