電子探針顯微鏡

電子探針顯微鏡

電子探針顯微鏡,用於地質、冶金、電子、建材、環境科學、半導體及材料科學等樣品,可做固體樣品的微區定性和定量分析,X射線線面掃描及背散射與二次電子圖像等分析。

名稱

電子探針顯微鏡

簡單介紹

包括: 1.元素定性和定量分析,可做礦物鑑定; 2.樣品微區的表面形態,化學成份和微結構的分析; 3.狀態分析,確定元素的賦存狀態。
儀器類別:03040703 /儀器儀表 /光學儀器 /電子光學及離子光學儀器
指標信息:三道X射線波譜儀和一台能譜儀,常用分光晶體有LIF PET TAP等。 X射線射角40°,放大倍率50~70000,加速電壓0~50kV. 二次電子圖像解析度70?,真空度:電子槍1×10-7乇,樣品室1×10-8乇。 Sun工作站Unix系統多任務多視窗作業系統。新添PC2,PC3多層膜晶片,可以用其進行超輕元素B,C,N,O,F等元素的測定。同時在最近我們還將安裝從CAMECA公司購買的陰極發光探頭可以用以進行陰極發光成圖

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