sensor類型 | 備註 | 適用範圍 | ||
功率感測器 | 1 | 熱電堆雷射功率感測器 | 測功率 | 1/n·mW~ n·Kw |
測單脈衝雷射能量() | f≤0.2HZ | |||
2 | 熱電堆雷射功率、位置、光斑大小感測器 | 定中心、光束定位、路徑跟蹤以及功率和單脈衝能量測試 | ||
3 | 光電二極體雷射功率感測器 | 1pW--n·100mW--3W(filter) | ||
能量感測器 | 4 | 熱釋電雷射能量感測器 | 耐用性比熱電堆型差,不使用時需移除雷射照射 | f≤25KHZ |
熱電堆型雷射功率計表面吸收材料種類較多,對應不同的吸收光譜和不同的功率密度損傷閾值。典型的有
表面吸收結構探頭:
-BB寬光譜吸收材料,此寬光譜吸收材料的鍍層損傷域值可達20KW/cm;吸收率大約90%,從紫外到紅外的曲線平滑;
-EX (Excimer lasers) 準分子雷射專用吸收材料,對於紫外光有高吸收率,可以承受高能量或高平均功率的準分子雷射,同時對10.6um和其他波長也有很好的回響,-EX最大平均功率強度約2KW/cm。
-LP長脈衝吸收材料,對於豪秒量級長脈衝或是連續波雷射有很高的損傷域值,在1064nm和10.6μm處做過校準,-LP最大平均功率強度約10KW/cm, -LP1最大平均功率強度約20KW/cm。
體吸收結構探頭:
-P短脈衝式吸收材料,套用於短脈衝雷射的探頭,最大平均功率強度50W/cm。對於脈衝雷射,吸收材料表面有大約95%吸收率的特殊的ND吸收玻璃。
-HE/-HE1高能量脈衝雷射吸收材料,-HE最大平均功率強度500W/cm。對於短脈衝/高平均功率雷射都有高的損傷域值。
-HL高能量長脈衝吸收材料,用於脈寬大於2ms的高能量,高平均功率的雷射
-PF/-SV 作為-P探頭的擴展,能承受更高的平均功率和平均功率密度,-PF(3KW/cm),-SV(60KW/cm)。