詞目:雷射力顯微鏡
英文:laser force microscope(LFM)
釋文:使微懸臂處在強迫振動狀態,當微懸臂的針尖感受外力或力的梯度時,其振動振幅或位相將發生變化。懸臂振幅用雷射測出,並將測出的變化反饋到支承樣品的壓電陶瓷的z向電極,使探針的振幅保持不變。這樣,當支承樣品的壓電陶瓷在x、y方向作光柵掃描時,就可以在恆定表面力(遠程力)下得到樣品表面起伏圖。該方法具有很高的靈敏度。
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