雙面探針台

雙面探針台的概念

　雙面探針台主要套用於半導體行業（IC和MEMS）以及光電行業的測試。主要使用在電子，機電，化工，材料特性研究所，及光電系所，納米機械，航空電子等，其目的在於保證質量及器件的可造性，並縮減研發時間和器件製造工藝的成本。可雙麵點針同時對晶圓的正面及背面進行測試的探針台，我們統稱為雙面探針台．

雙面探針台的分類與特點

雙面探針台從操作上來區分有：手動，半自動，全自動．
1)可化定置設計完成
2)高精度量測標準
3)產品擴展及升級性強
4)設計合理

雙面探針台的結構

探針台本體

1. 4”、6“、8“真空吸附卡盤　

　*滾珠螺桿驅動卡盤裝置　

　*X,Y行程：150mm(可根據需求選擇其它範圍)　

　*精密推拉裝盤裝置　

　*手動卡盤360度調整　

　*顯微鏡X,Y,Z平台移動行程25mm(可根據需求選擇其它範圍)

　2.DC探針座ProbeHead(可選其它精度或高頻套用探針座)　

　*外型尺寸：70x50mm　

　*X,Y行程：12mm　

　*Z行程：8mm*精度：1um*仰角調節裝置　

　*吸附方式：磁開關吸附（真空吸附可選）

　3.高倍率顯微鏡系統(可選其它倍率光學顯微鏡)　

　*放大倍率1X-500X註：可選更高倍率物鏡，如：100X物鏡，即總倍率1000X　

　*光源光纖傳導：1.5m*鹵素燈光源：100W或更高

　*CCDC-mount國際標準接口　

　*目鏡：WF10X/24，視場直徑24mm，獨立矯正色差　

　*物鏡：10X,20X,50X，100X

*雙目頭：瞳距調節範圍55~75mm　

　*上主體：分光比為50:50或0:100　

　*管鏡：1XNUV/VIS

　*齊焦距離:95mm;　

　*調焦機構：調焦行程:52mm

　*粗動手輪4mm/轉　

　*微動手輪0.1mm/轉

　*微動手輪1μm/格　

　*最大承載重量:45磅(20.4Kg)　

4 .CCD相機*包括圖像採集卡等

　5.探針夾具及電纜線(根據測試需求可選其它配置)*TubeHolder/1.5mTriaxcable/Triaxmale

　6.探針ProbeTip(可選項)*1um探針　

　7.真空泵

　8.禁止箱　

　9.防振桌　

　10.適配器

11.轉接頭　

　12.電學測試設備

探針座

　探針座(proberHead)選擇，可選：直流、高頻、微/大電流、高功率、高電壓等…　

　說明：針對於探針台的選型，根據用戶測試樣品、測試環境、套用類別、產品級別以及操作方試可分為：　

　1)按測試樣品分類，可分為：晶圓測試、LED測試、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、太陽能電池片測試、材料表面電阻率測試、納米器件測試，　

　2)按套用分類可分為：射頻測試、高溫環境測試、低溫真空測試、低電流（fA級）測試I-v/c-v/p-iv測試、高壓、大電流測試、特殊氣體環境測試、磁場環境測試、輻射環境測試、雙麵點針測試探針台。