Prober

Prober

Probe是探針台。

Prober 也即探針台

探針台主要套用於半導體行業以及光電行業的測試。

探針台從操作上來區分有:手動,半自動,全自動

從功能上來區分有:高溫探針台,低溫探針台,RF探針台,LCD平板探針台,霍爾效應探針台,表面電阻率探針台,

以上所有種類之分析探針台

經濟手動型

chuck尺寸100mm

X,Y移動行程100mm

chuck Z軸方向升降10mm(選項)

搭配AEC實體顯微鏡

針座擺放個數2~4顆

適用領域:4寸Wafer,如晶圓廠、LED、學術單位等

手動型 PW-800 / PW-600

chuck尺寸800mm/600mm

X,Y電動移動行程200mm/150mm

chuck粗調升降9mm,微調升降16mm

可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡

針座擺放個數6~8顆

顯微鏡X-Y-Z移動範圍2"x2"x2"

可搭配Probe card測試

適用領域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產品

電動型

chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不鏽鋼或鍍金)

X,Y電動移動行程300mm x 300mm

chuck粗調升降9mm,微調升降16mm,微調精度土1u

可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡

針座擺放個數8~12顆

顯微鏡X-Y-Z移動範圍2“x2”x2“

材質:花崗岩台面+不鏽鋼

可搭配Probe card測試

適用領域:12寸Wafer、IC測試之產品

LCD半自動探針台

機械手臂取放片

電動、鍵入坐標尋位置

量測尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000

LCD手動探針台

白熾燈或者LED整面背光

TFT元件特性、Driver IC量測分析

機台尺寸(mm):800x600、500x400、300x300

PCB量測探針台

高頻測試探頭GSG / GS / SG

頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ

機台尺寸同LCD 探針台

太陽能產業探針台(Solar Cell 量測系統)

量測軟體:

I-V /C-V Curve, Isc, Voc,

Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,

Power Convert Efficiency

採用KEITHLEY Source Meter

可加配任意品牌之太陽光模擬器

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