除屑磚體拋光機

一種化學機械拋光裝置，適用於拋光晶片，此化學機械拋光裝置包括一拋光台等。能夠徹底清除磚體表面研磨落下的屑料，使磚體表面不會出現由落下的屑料所造成的二次劃傷溝痕。

除屑磚體拋光機

除屑磚體拋光機，包括機架，該機架上設有移動傳送工作平台並順序串設有多個加工單元，所述多個加工單元的上部具有旋轉驅動連線端，其中所述機架上還設有多個分別設定在兩個相鄰的加工單元之間的沖洗單元，每個沖洗單元中均設有用於沖洗磚體表面的流體沖洗裝置；其中各加工單元中設有除屑拋光磨頭，包括一轉動體，轉動體外側環周分布設有多個磨料夾持器，轉動體的內部垂直貫穿設定有一個沖洗管，沖洗管的底部的外側設有多個外側通孔。

優點

本發明的除屑磚體拋光機能夠徹底清除磚體表面研磨落下的屑料，使磚體表面不會出現由落下的屑料所造成的二次劃傷溝痕；同時提高各加工單元的工作效率，節省了加工單元，降低了能源消耗和生產成本。