鈦升華泵
正文
定義
靠新鮮鈦膜的化學吸附作用抽氣的真空泵。這種泵具有結構簡單、抽速大、無油污染、抗輻射和無振動噪聲等特點,啟動壓力為1~10-2帕,工作壓力範圍為10-2~10-8帕,是獲得無油超高真空的重要真空泵。鈦升華泵在電子器件、高能加速器、可控熱核反應裝置和空間模擬裝置,以及表面物理試驗等方面都得到廣泛的套用。結構
鈦升華泵主要由泵體和升華器組成(圖1)。泵體材料為不鏽鋼。泵體採用水或液氮冷卻。泵體高度與泵口直徑之比一般為1~2,水冷卻取大值,液氮冷卻取小值。依使用的鈦材形狀和加熱方式不同,升華器有多種結構形式。圖2a、 b分別是純鈦絲和鈦鉬合金絲直接通電加熱的升華器。這兩種升華器的結構簡單,成本低;但鈦升華率或蒸發率(指單位時間內單位面積升華的量)低,利用率也很低(約為40%)。圖2c是輻射加熱的鈦球升華器。它由薄殼鈦球和內部的鎢絲加熱器組成。這種升華器升華率大、利用率高(約達70%)。在大型泵里裝有幾個鈦球,平均升華率可達2.5克/時,抽氣速率達數十立方米每秒。此外,還有電子轟擊加熱鈦片升華器和鈦棒升華器等。![鈦升華泵](/img/7/930/nBnauM3XwcTM3ITMzQDNxgDM5ETMwADMwADMwADMwADMxAzL0EzLwczLt92YucmbvRWdo5Cd0FmLwE2LvoDc0RHa.jpg)
![鈦升華泵](/img/8/b8e/nBnauM3XxEjN0MTMzQDNxgDM5ETMwADMwADMwADMwADMxAzL0EzLxEzLt92YucmbvRWdo5Cd0FmLyE2LvoDc0RHa.jpg)