
化學式:H2SO5(也可寫成SO3·H2O2)
分子量:114.07
性質:當H2SO4與H2O2混合,生成過氧單硫酸(H2SO5)可以看成是H2O2中一個氫原子被磺基–SO3H 取代的產物,即HOO–與–SO3H結合。無色吸水性晶體。熔點45*C,加熱爆炸分解 。溶於硫酸、磷酸、冰醋酸。因含有過氧根而具有強氧化性,與芳香化合物(如苯、酚、苯胺)相混爆炸。在水中緩慢水解為硫酸與過氧化氫。它是一元強酸,其鹽類反而不穩定。
這些基團可以與光刻膠中的碳高分子鏈反應,最終生成CO和CO2 。採用現有的piranha流程,為了使反應充分進行並得到合適的去膠速率,需要將溶液加熱到150℃。不幸的是,灰化時離子轟擊光刻膠造成了去氫的非晶碳層,該層與OH–和HSO4–反應基之間的反應很弱。
純過一硫酸也叫高濃度礬氧混化劑VF
