過一硫酸

"化學式：H2SO5（也可寫成SO3·H2O2） 性質：當H2SO4與H2O2混合

電子結構式圖片

也稱過氧硫酸，又名卡羅酸
化學式：H2SO5（也可寫成SO3·H2O2）
分子量：114.07
性質：當H2SO4與H2O2混合,生成過氧單硫酸（H2SO5）可以看成是H2O2中一個氫原子被磺基–SO3H 取代的產物，即HOO–與–SO3H結合。無色吸水性晶體。熔點45*C，加熱爆炸分解 。溶於硫酸、磷酸、冰醋酸。因含有過氧根而具有強氧化性，與芳香化合物（如苯、酚、苯胺）相混爆炸。在水中緩慢水解為硫酸與過氧化氫。它是一元強酸，其鹽類反而不穩定。
這些基團可以與光刻膠中的碳高分子鏈反應,最終生成CO和CO2 。採用現有的piranha流程,為了使反應充分進行並得到合適的去膠速率,需要將溶液加熱到150℃。不幸的是,灰化時離子轟擊光刻膠造成了去氫的非晶碳層,該層與OH–和HSO4–反應基之間的反應很弱。
純過一硫酸也叫高濃度礬氧混化劑VF

三維結構

，由三氧化硫固體與100％的無水過氧化氫反應製得，酸性、氧化性都比硝酸強，與金反應很劇烈。