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超高效無隔板過濾器,英文名又叫“MIni-pleat Ultra Low Penetration Air Filter”用途
用於半導體製造工廠、原子能研究中心、無塵室、層流設備、淨化工作檯等要求超高潔淨度的場合。特性
1.效率高(主要捕集0.12µm以上的微粒)2.阻力低
3.厚度薄、重量輕
4.安裝方便
5.每台均經過掃描測漏
使用要求
符合規範:EN 1822 Class U15/U16/U17/符合規範:IES RP-CC-001.3 TYPE F
使用條件:最高溫度:≧80℃
最高濕度:≧100%RH(非結露狀態)
厚度:50mm、70mm、90mm
主要參數
尺寸Dimensions(mm) | 額定風量Rated air flow(m3/h) | 初阻力Initial pressure (Pa) | 過濾效率Filter efficiency % | 材料Material | |||
寬Width*高Height*深Depth | 外框Frame | 濾料Filters material | 分隔物Partition material | 密封膠Sealant | |||
610*610*50 | 470 | ≤220 | >99.9995% | 鋁合金 Aluminum alloy | 玻纖濾紙Fiberglass filter paper | 熱熔膠 Hot melt rubber | 聚氨酯膠Polyurethane rubber |
915*610*50 | 700 | ||||||
610*610*69 | 600 | ||||||
915*610*69 | 900 | ||||||
610*610*90 | 800 | ||||||
915*610*90 | 1200 | ||||||
1220*610*100 | 1600 |
檢測方法
國內高效空氣過濾器檢測主要依據GB/T13554-2008《高效空氣過濾器》、GB/T14295-2008《空氣過濾器》、JB/T6417-1992《空調用空氣過濾器》、GB/T6165-2008《高效空氣過濾器性能試驗方法過濾效率和阻力》,檢測方法包括鈉焰法、油霧法和計數法三種,以鈉焰法為基準方法。從國際上高效過濾器檢測標準的演變過程可以看出,高效空氣過濾器測試方法主要有鈉焰法、油霧法、DOP法、螢光法和粒子計數法。
(1)鈉焰法
鈉焰法於1969年起源於英國,歐洲部分國家在20世紀70~90年代實行,是我國現行的國家標準方法之一。它的測試塵源為多分散相氯化鈉鹽霧,“量”為含鹽霧燃燒時氫氣火焰的亮度。鹽水在壓縮空氣的攪動下飛濺,經乾燥形成微小鹽晶體顆粒並進入風道,在過濾器前後分別採樣,含鹽霧氣樣使氫氣火焰的顏色變藍、亮度增加,以火焰的亮度來判斷空氣的鹽霧濃度,並以此確定過濾器對鹽霧的過濾效率,主要檢測儀器為火焰光度計。鈉焰法的相關標準有:英國BS3928-1969,歐洲Eurovent4/4,中國GB6165-85。該方法只能檢測靈敏度不高,不能對超高效過濾器檢測。
(2)油霧法
油霧法起源於德國,中國和前蘇聯也實行。測試塵源為油霧,“量”為含油霧空氣的濁度,以過濾器前後氣樣的濁度差別來判斷過濾器對油霧顆粒的過濾效率。德國規定使用石蠟油,油霧粒徑為0.3~0.5µm。中國標準規定油霧平均重量直徑為0.28~0.34µm,對油的種類未做具體規定。相關的標準有:中國GB6165-85,德國DIN24184-1990。油霧法在檢測過濾器時,容易對過濾器造成損傷,且不能直接讀值,浪費時間。德國油霧法已成為歷史,德國於1993年率先頒布了以計數法為檢測方法的國家標準,歐洲標準EN-1822就是在德國標準的基礎上制定的。我國只有少數軍工單位使用該方法。
(3)DOP法
DOP法1956年起源於美國,曾被許多國家採用,中國國家標準中也已採用,這種方法曾經是國際上測試高效過濾器最常用的方法。它的測試塵源為0.3µm單分散相鄰苯二甲酸二辛酯(DOP)液滴,也稱為“熱DOP”,“量”為含DOP空氣的渾濁程度。將DOP液體加熱成蒸汽,蒸汽在特定的條件下冷凝成微小液滴,去掉過大和過小的液滴後留下0.3µm左右的顆粒,進入風道,通過測量過濾器前後氣樣的濁度,並由此判斷過濾器對0.3µm粉塵的過濾效率。測量儀器主要是光散射式光度計(photometer)。相關標準有:MIL-STD-282-1956。
(4)螢光法
螢光法只有法國使用,螢光法的測試塵源為噴霧器產生的螢光素鈉粉塵。測試方法是首先在過濾器前後採樣,然後用水溶解採樣濾紙上的螢光素鈉,再測量含螢光素鈉水溶液在特定條件下的螢光亮度,亮度反應粉塵的重量,由此計算出過濾器的過濾效率。法國早已不用螢光法,他們也將歐洲標準化協會的計數法定為國家標準,一些核工業系統現場檢測過濾器也採用螢光法。
(5)粒子計數法
該方法在歐洲通用,美國超高效過濾器測試方法也比較類似,是國際上的主流測試方法。塵源為多分散相液滴,或確定粒徑的固體粉塵。有時,過濾器廠商要按照用戶的特殊要求,使用大氣粉塵或其他特定粉塵。若測試中使用的是凝結核計數器,就必須使用粒徑已知的單分散相試驗塵源。主要測量儀器為大流量雷射粒子計數器或凝結核計數器(CNC)。用計數器對過濾器的整個出風面進行掃描檢驗,計數器給出每點的粉塵的個數,還可以比較各點的局部效率。
歐洲人的經驗表明,對於高效過濾器,最易穿透的粉塵粒徑在0.1µm~0.25µm之間的某一點,先確定測試條件最易穿透粉塵粒徑,然後連續掃描測量過濾器對該粒徑粉塵的過濾器效果,歐洲人將這種方法稱為MPPS法[14]。美國標準規定只測量0.1~0.2µm區間的顆粒。MPPS法其實也是粒子計數法,因為其所用的檢測儀器為粒子計數器或凝結核粒子計數器。該方法的相關標準有:歐洲EN1882-1998~2000,美國IES-RP-CC007.1-1992。