解毒裝置

解毒裝置（detoxify Units）
　氣體工業名詞術語。電子氣體生產和使用過程中排放的有毒尾氣，必須經過特定裝置以不同的工藝方法處理，使其達到環境保護標準後方可排放，這種裝置稱解毒裝置。解毒是通過物理或化學方法將有毒物質轉化為無毒，安全物質的過程。通常採用的方法有：燃燒法，化學吸收法，吸附法（含物理吸附和化學吸附），熱分解法和稀釋法等。解毒裝置分為乾法解毒裝置，濕法解毒裝置及乾濕結合的解毒裝置。後者適用於處理含砷烷，磷烷，乙硼烷，矽烷，硫化氫，氯化氫，氨等多種有毒氣體。