內容簡介
本書集中介紹了薄膜科學中的關鍵部分——薄膜生長。全書由15章五個方面的內容組成：第一至四章主要從薄膜的角度介紹相平衡和晶體表面原子結構的基礎知識。第五至七章主要介紹薄膜中的缺陷和擴散，第八、九章主要介紹薄膜生長的三種模式和成核長大動力學。第十至十三章主要介紹金屬薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜的生長和生長中出現的分形現象。第十四、十五章介紹薄膜製備和研究的各種方法。
本書不僅系統地介紹了有關薄膜生長的固體物理學知識，而且介紹了薄膜生長的前沿進展和薄膜檢測的各種先進方法。
本書可作為固體物理、材料科學專業的研究生教學用書，也可供從事薄膜研製和生產的科技人員參考。
書籍目錄
第一章相平衡和界面相
1.1相平衡
1.2元素和合金的相圖
1.3固溶體的能量
1.4固溶體的組態腦
1.5界面相
1.6界面曲率半徑的影響
1.7晶體表面能、界面能和黏附能
1.8固體表面張力的測定方法
1.9表面能對薄膜穩定性的影響
參考文獻
第二章晶體和晶體表面的對稱性
2.1晶體的對稱性
2.2晶體表面的對稱性
2.3晶面間距和晶列間距公式
2.4倒易點陣
參考文獻
第三章晶體表面原子結構
3.1晶體表面的原子結構
3.2表面原子的配位數
3.3表面的台面-台階-扭折（TLK）結構
3.4鄰晶面上原子的近鄰數
3.5晶體表面能的各向異性
3.6台階和台面的粗糙化
參考文獻
第四章再構表面和吸附表面
4.1再構表面和吸附表面結構的標記
4.2半導體再構表面結構
4.3金屬再構表面結構
4.4吸附表面結構
4.5表面相變
參考文獻
第五章薄膜中的晶體缺陷
5.1密堆積金屬申的點缺陷
5.2半導體中的點缺陷
5.3表麵點缺陷
5.4位錯和層錯
5.5孿晶界和其他面缺陷
參考文獻
第六章外延薄膜中缺陷的形成過程
6.1晶格常數和熱膨脹係數的影響
6.2異質外延薄膜中的應變
6.3外延薄膜中的錯配位錯
6.4島狀薄膜中的應變和錯配位錯
6.5外延薄膜中其他缺陷的產生
參考文獻
第七章薄膜中的擴散
7.1擴散的巨觀定律和微觀機制
7.2短路擴散
7.3半導體晶體中的擴散
7.4短周期超晶格中的互擴散
7.5反應擴散
7.6表面擴散
7.7表面擴散的實驗研究方法
7.8電遷移
參考文獻
第八章薄膜的成核長大熱力學
第九章薄膜的成核長大動力學
第十章金屬薄膜的生長
第十一章半導體薄膜的生長
第十二章氧化物薄膜的生長
第十三章薄膜中的分形
第十四章薄膜的製備方法
第十五章薄膜研究方法
