新方法
在環境掃描電鏡(ESEM)中注入氧氣,減少和消除絕緣樣品表面在電子束輻照下產生的荷電效應。二次電子像的觀察顯示,在壓力為130Pa~600Pa的ESEM中,氧氣對Al2O3、Al(OH)3等氧化物、氫氧化物及生物樣品的荷電補償效果,優於常用的水蒸汽環境。通過吸收電流I。的實時測試,評價了氧環境的荷電補償效果。採用氧氣減少表面荷電基於一個新的概念:在電子束的輻照下,電子受激解吸可造成表面氧虧損,使能帶產生畸變,形成捕獲電子的勢阱。氧環境提供的氧離子可實現對氧空位的修復,從而消除了荷電效應。
評價方法
在掃描電鏡(SEM)中,通過記錄和實時處理電子束輻照樣品過程中產生的吸收電流La,評價非導電樣品的荷電效應.對於非導電樣品,La的絕對值很小,且變化幅度很大,這是電荷在非導電樣品表面被捕獲、積累和釋放過程的直接反映.此外,La還可用來評價荷電補償(改變環境壓力、改變成像參數及對樣品表面進行導電處理)的效果.