建制
1950年5月，以原濱海專區為基礎，成立臨沂專區，屬於山東省，並設山東省臨沂區行政督察專員公署。1952年12月，新海連市 (1950年12月由新海縣改置) 及東海(1951年由新海縣析置) 、贛榆、邳等劃歸江蘇省徐州專區。1953年7月，沂水、沂南、沂源、蒙陰、莒沂、莒縣、莒南、平邑八縣劃入。12月，改稱山東省人民政府臨沂區專員公署，專署駐臨沂城。原轄臨沂、臨沭、贛榆（1950年5月由竹庭縣改稱）、新海(新海連市與東海合併而成)、郯城、邳縣、蒼山、蘭陵、費縣等9縣。
變革
1952年12月，新海連市 (1950年12月由新海縣改置) 及東海(1951年由新海縣析置) 、贛榆、邳等劃歸江蘇省徐州專區。
1953年6月，臨沂專區共轄6縣：
•臨沂：縣人民政府駐臨沂城。
•郯城：縣人民政府駐郯城縣城。
•臨沭：縣人民政府駐夏莊鎮。
•蒼山：1950年6月，撤銷趙鎛縣，其全部轄區來屬。縣人民政府駐卞莊鎮。
•費縣：1952年3月，蒙山縣撤銷，其部分轄區來屬。縣人民政府駐費城。
•蘭陵：1952年4月，銅山縣撤銷，部分地區來屬。縣人民政府駐蘭陵鎮。
1953年7月，撤銷沂水專區，其地除日照縣劃歸膠州專區外，其餘各縣皆劃為臨沂專區。同時，將滕縣專區的平邑縣亦併入臨沂專區。所轄縣亦有部分調整：
•沂水：縣人民政府駐沂水縣城關區。
•沂南：縣人民政府駐界湖鎮。
•沂源：縣人民政府駐南麻鎮。
•莒沂：縣人民政府駐楊家城子。
•蒙陰：縣人民政府駐蒙陰城。
•莒縣：縣人民政府駐莒縣城。
•莒南：縣人民政府駐十字路鎮。
•平邑：1952年3月，蒙山縣撤銷，其西部地區併入平邑縣。縣人民政府駐平邑鎮。
•白彥：1950年6月，撤銷麓水縣，其全部轄區併入。縣人民政府駐山亭(今屬棗莊市)。
1956年2月，膠州專區撤銷，其所屬日照縣劃歸臨沂專區：
•日照：縣人民政府駐日照城。
自此，除邊界村莊有少量變化外，臨沂縣以上的行政區劃至1989年基本未變。
更名
1955年3月，省人民政府決定，山東省人民政府臨沂區專員公署，改為山東省臨沂專員公署。
1967年1月，臨沂專員公署被民眾組織奪權，4月9日成立臨沂地區革命委員會。
