人物生平
早年經歷
臧熹早年與哥哥臧燾都愛好經籍，然而東晉隆安年間戰事不斷，臧熹就轉而練習騎射，想要憑藉軍事立下功勳。臧熹早年曾和溧陽縣令阮崇打獵，習騎射的他遇到老虎突圍，其他同行獵者都四散，臧熹就徑前射擊，一箭就射倒老虎。
跟隨劉裕
元興三年（404年），臧熹隨姐夫劉裕在京口，起兵討伐桓玄。不久，劉裕進軍建康，桓玄倉皇出逃，劉裕指派臧熹到皇宮接受圖書和各種器物，看管皇宮的財產。其中有一件黃金裝璜的樂器，劉裕就故意打趣地問臧熹有沒有享樂欲望，然而臧熹卻一臉正經地指出皇帝尚被逼在外，沒有心情享樂。劉裕連忙笑著說：“這只是和你開玩笑罷了。”之後被劉裕任命為行參鎮軍軍事，後轉員外散騎侍郎，跟著又再參鎮軍軍事，領東海太守，並因參與討伐桓玄的功勞封始興縣五等侯。劉裕擔任車騎大將軍、中軍將軍時，臧熹也跟著擔任劉裕的參車騎及中軍軍事。
義熙五年（409年），劉裕想要北伐南燕，當時謀劃的人很多都反對。臧熹卻從容不迫地站出來說：“主公如果征伐南燕，拯救人民於水深火熱之中，統一天下，並不是遙遙無期的事。”劉裕回答說：“你說得對。”等到北伐時，臧熹要求隨從劉裕北伐，但沒有被劉裕允許，而讓他擔任建威將軍、臨海太守，鎮守後方。
臨海郡在當時經歷過孫恩之亂後破壞嚴重，人民死亡眾多，臧熹上任後用心安撫和整頓，重整法規和秩序，招集流散的居民，召得千多戶郡民回來。
義熙六年（410年），盧循之亂時，孫處經海路進攻盧循根據地番禺，水軍經過臨海郡時得到臧熹支援，軍隊才得充足物資破敵。後受征為散騎常侍。
義熙八年（412年），劉裕出兵進攻荊州刺史劉毅，臧熹以寧朔將軍身份隨軍討伐劉毅。
領兵伐蜀
義熙九年（413年），劉裕命朱齡石出兵西蜀，臧熹以寧朔將軍領建平、巴東二郡太守，率兵出中水。當時蜀王譙縱派心腹大將譙撫之率領一萬多人駐守在牛脾城，又派譙小苟率領重兵防衛打鼻城。臧熹率軍攻到牛脾城，譙撫之大敗而逃。臧熹率軍趁勝追擊，譙撫之在中途被臧熹斬殺。譙小苟及其他隨近營壘聽說譙撫之被臧熹擊斬，都望風潰退，不久成都被攻下，西蜀滅亡。可是臧熹在蜀地卻突然患病，於當年在牛髀縣去世，時年三十九歲，朝廷追贈他為光祿勛。
家庭成員
父親
臧俊，官至郡功曹，劉裕稱帝建宋後，追贈為金紫光祿大夫。
母親
叔孫氏，高密人，劉裕稱帝建宋後，追封她為遷陵永平鄉君。
兄長
臧燾，隨從劉裕討伐桓玄，先後擔任劉裕的鎮軍、車騎、中軍、太尉咨議參軍，入補尚書度支郎，改掌祠部，劉裕稱帝後，召入為侍中、太常，拜光祿大夫，加金章紫綬。宋少帝劉義符即位初年去世，時年七十歲。少帝追贈他為左光祿大夫，加散騎常侍。
姐姐
臧愛親，劉裕結髮妻子，劉裕稱帝後追封她為“武敬皇后”。
子女
臧質，臧熹子，南朝宋著名將領，曾在元嘉北伐中堅守盱眙城，擊退北魏太武帝拓跋燾，宋孝武帝即位後與南郡王劉義宣等起兵叛亂，為孝武帝討平，被殺。
臧氏，臧質妹，嫁羊沖。
