聚合物微納製造技術

內容介紹

《微米納米技術叢書?MEMS與微系統系列:聚合物微納製造技術》總結了作者王立鼎、劉沖、徐征、李經民、劉軍山等十年來在聚合物微納製造方面的科研成果，並介紹了國內外在這方面最新研究成果和發展動態，力求全面反映聚合物微納製造技術最新發展水平。闡述了聚合物微納製造的各項關鍵技術，涵蓋了聚合物材料特性、微納成形工藝技術及設備、高能束刻蝕、封合連線技術及設備等，並對聚合物微納技術典型套用情況進行了總結。目的是使讀者能夠切實和全面地了解聚合物微納製造技術的原理和最新進展。