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為了貫徹上海市緊缺人才培訓工程聯席會議與上海市納米科技與產業發展促進中心推出“納米科技與套用能力”緊缺人才培訓考核項目的需求，何丹農編寫了《納米製造》教材，旨在滿足人們了解和掌握規模化納米材料加工、納米結構加工技術基本知識的需要。本書首先介紹了納米技術及納米製造的基本知識與背景，後從多個方面介紹了納米材料的規模化製造加工方法與原理、納米結構器件及其批量化製造加工、封裝技術、納米電子器件等，並列舉了多個納米加工相關技術的實驗案例。
內容簡介
本書主要內容包括：綜述、納米製造的加工原理、納米製造的加工技術等。
目錄
第1章 綜述
1.1 納米技術的背景
1.1.1 納米科技的歷史
1.1.2 納米技術的定義
1.1.3 納米材料的種類
1.2 納米製造的背景
1.2.1 製造的定義
1.2.2 精密工程的定義
1.2.3 微製造與微加工
1.2.4 納米製造和納米機械加工
參考文獻
第2章 納米製造的加工原理
2.1 基於物理原理的納米製造
2.1.1 高能球磨法
2.1.2 惰性氣體冷凝法
2.1.3 非晶晶化法
2.1.4 大塑性變形法
2.1.5 物理氣相沉積法
2.1.6 納米技術的物理/機械套用
2.2 基於化學原理的納米製造
2.2.1 氣相沉積法
2.2.2 沉澱法
2.2.3 水熱合成法
2.2.4 溶膠-凝膠法
2.2.5 電沉積法
2.2.6 化學鍍法
2.2.7 微乳液法
2.2.8 納米技術在化學中的套用
2.3 基於生物原理的納米製造
2.3.1 基於生物原理的納米技術
2.3.2 基於生物原理的納米製造套用實例
參考文獻
第3章 納米製造的加工技術
3.1 “自上而下”的方式
3.1.1 定型機械納米加工
3.1.2 磨粒納米加工
3.1.3 非機械納米加工
3.1.4 光刻加工
3.1.5 生物納米加工
3.2 “自下而上”的方式
3.2.1 以自組裝為媒介的圖形製作和傳遞
3.2.2 生物分子自組裝
3.2.3 利用力場的自組裝
3.2.4 探針納米加工
3.2.5 蘸水筆納米加工
3.2.6 生物模板法合成
3.3 納米製造加工技術實例——納米壓印技術
3.3.1 納米壓印技術原理
3.3.2 納米壓印工藝
3.3.3 納米壓印的套用
3.4 納米製造加工技術實例——超光滑表面製造
3.4.1 超光滑表面加工概述
3.4.2 超光滑表面製造工藝
3.4.3 超光滑表面加工的挑戰
參考文獻
第4章 納米製造的封裝與裝配技術
4.1 封裝概述
4.1.1 發展歷史
4.1.2 封裝的分類及常見形式
4.2 封裝的互連技術
4.2.1 引線鍵合
4.2.2 倒裝晶片
4.3 BGA和CSP封裝
4.3.1 BGA封裝
4.3.2 CSP封裝
4.4 MCM封裝
4.4.1 MCM的特點
4.4.2 MCM的分類
4.4.3 3D-MCM
4.5 3D-TSV封裝
4.5.1 3D封裝的發展
4.5.2 3D-TSV的特點
4.5.3 3D-TSV的關鍵技術
4.5.4 3D-TSV的挑戰
參考文獻
第5章 納米電子器件
5.1 納機電系統
5.1.1 納機電系統關鍵特性
5.1.2 納機電系統的基礎理論與關鍵技術
5.1.3 納機電系統的套用
5.2 納米CMOS器件
5.2.1 納米CMOS器件面臨的挑戰
5.2.2 納米CMOS器件新物理效應
5.2.3 納米CMOS器件的柵技術
參考文獻
附錄A 實驗手冊
實驗一 套用AFM測量接觸模式下的力曲線
實驗二 納米壓印實驗
實驗三 化學機械拋光
實驗四 原子層沉積實驗
附錄B 關鍵字中英文對照
