人物生平
長期從事微弱信號檢測、光電技術和光電測量儀器的研製。曾先後參加和主持了“光學漸變濾光片”。“超軟X射線正比計數管”、“掠入射極紫外攝譜儀”、“高精度光電折射儀”、“等離子刻蝕終點監測儀”、“SVJ數字式光電V稜鏡儀”、“短波段光子計數器”、“光學膜厚動態監控儀”等多項課題的研究工作；完成了國家自然科學基金資助項目“亞微米積體電路離子刻蝕工藝終點監測方法研究”。
主要成就
參加研製的“掠人射極紫外攝譜儀”獲中院科技進步二等獎；主持研製的“高精度光電折射儀”居國際80年代先進水平，獲中科院科技進步三等獎；主持研製的“等離子刻蝕終點監測儀”填補了國內空白，達到了80年代後期國際先進水平，獲中科院科技進步三等獎，機械電子工業部“七五”科技攻關優秀成果獎；個人獲“七五”科技攻關先進個人獎。
發表論文
在國內外核心刊物上發表了主要論文《A computerized photo-electric refractometer》、《Optical endpoint detection of plasma etching and RIE for LSI circuits》、《用於真空紫外波段弱光光譜測量的光子計數器》、《紅外光學材料折射率的光電測量》、《低噪聲應力測量頭》、《從噪聲中提取弱光信號的採樣跟蹤濾波器》等20餘篇。現從事航天遙感儀器的研製工作。
