真空科學與技術叢書

內容介紹《真空鍍膜》是本著突出近代真空鍍膜技術進步,注重系統性、強調實用性而編著的。 全書共11章,內容包涵了真空鍍膜中物理基礎,各種蒸發源與濺射靶的設計、特點、使用要求,各種真空鍍膜方法以及薄膜的測量與監控,真空鍍膜工藝對環境的要求等。 《真空鍍膜》具有權威性、實用性和通用性。

內容介紹

《真空鍍膜》是本著突出近代真空鍍膜技術進步,注重系統性、強調實用性而編著的。全書共11章,內容包涵了真空鍍膜中物理基礎,各種蒸發源與濺射靶的設計、特點、使用要求,各種真空鍍膜方法以及薄膜的測量與監控,真空鍍膜工藝對環境的要求等。《真空鍍膜》具有權威性、實用性和通用性。

相關詞條

熱門詞條

聯絡我們