內容簡介

圖書目錄
緒論
第1章 單晶矽的基本知識
第2章 直拉單晶爐
第3章 直拉單晶爐的熱系統及熱場
第4章 晶體生長控制器
第5章 原輔材料的準備
第6章 直拉單晶矽生長技術
第7章 鑄錠多晶矽工藝
第8章 摻雜技術
附錄
參考文獻
……
《直拉單晶矽工藝技術》是2009年07月化學工業出版社出版的圖書,作者是黃有志。
緒論
第1章 單晶矽的基本知識
第2章 直拉單晶爐
第3章 直拉單晶爐的熱系統及熱場
第4章 晶體生長控制器
第5章 原輔材料的準備
第6章 直拉單晶矽生長技術
第7章 鑄錠多晶矽工藝
第8章 摻雜技術
附錄
參考文獻
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《太陽能光伏產業:直拉單晶矽工藝技術》可作為高職高專太陽能光伏產業矽材料技術專業的教材,同時也可作為中專、技校和從事單晶矽生產的企業員工的培訓教材,還可...
內容簡介 目錄。——1968年4月第三期工程(化合物半導體研究室及單晶矽擴建工程)破土動工。12月完...的工藝技術由峨嵋半導體材料廠、所承擔。4月Φ35 mm 內熱式生產氫氣氛無位錯...直徑區熔矽單晶。6月接受援助羅馬尼亞的多晶矽和單晶矽生產任務。7月4日根據...
概述 成就目標 發展歷程 改革成就 發展前景多晶矽可作拉制單晶矽的原料,多晶矽與單晶矽的差異主要表現在物理性質方面。例如,在力學性質、光學性質和熱學性質的各向異性方面,遠不如單晶矽明顯;在電學性質方面,多晶矽晶體的導電性也遠不如單晶矽顯著,甚至於幾乎沒有導電性...
化學性質 生產方法 生產危害 利用價值 技術特徵多晶矽其他製造方法95第5章晶體矽片製造工藝9751直拉法製造單晶矽棒...對固液界面形狀的影響103514重要的原輔料104515直拉單晶矽...113518單晶矽雜質分布11452磁控直拉法115521磁控直拉...
第一隻矽電晶體,提高了人們製備優質矽單晶的興趣。1952年用直拉法(CZ...的存在有益也有害。直拉矽單晶氧含量在5~40ppm範圍內;區熔矽單晶氧含量...的相互作用及變化直接影響積體電路的成敗。類型套用單晶矽的製作矽單晶按拉制...
簡介 類型套用 未來前景矽冶金提純主設備及輔助裝置,單晶矽與多晶矽鑄錠製備工藝技術概述,定向凝固... 單晶矽與多晶矽鑄錠製備工藝技術概述 7.1 單晶矽錠生產技術...多晶矽和直拉單晶矽的比較 8.3.2太陽電池用多晶矽定向凝固研究及進展...
出版信息 內容簡介 目錄熔或直拉——單晶矽棒——滾、切、磨、拋——矽片矽晶圓silicon...、工藝參數的描述以及工藝參數測量方法的介紹,並在半導體製造的幾大工藝技術章節...163單晶矽生長164IC製造對襯底材料的要求165晶體缺陷...
內容簡介 目錄,在產業鏈中具有舉足輕重的地位。單晶爐真空閥是單晶矽製造生長過程的工藝設備中...度上取決於製備時的工藝技術和裝備,沒有先進的工藝技術和滿足晶體生長要求...。 大多數人工單晶矽晶體的生長需在充有惰性氣體的密閉爐室內進行。近年來國內晶體...