異丁基鍺烷

異丁基鍺烷(IBGe,化學式:(CH3)2CHCH2GeH3)是一種有機鍺化合物。 它是一種無色不穩定的液體,用於有機金屬化學氣相沉積法。 在張力矽的套用中,異丁基鍺烷用於形成沉積的鍺薄膜和含鍺的半導體薄膜(例如鍺化矽)。

異丁基鍺烷(IBGe,化學式:(CH3)2CHCH2GeH3)是一種有機鍺化合物。它是一種無色不穩定的液體,用於有機金屬化學氣相沉積法。在張力矽的套用中,異丁基鍺烷用於形成沉積的鍺薄膜和含鍺的半導體薄膜(例如鍺化矽)。它還用於製備NANDFlash中的GeSbTe。

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