熱探針法

熱探針法可以用作矽片N型或者P型的檢測。探針工作的基本原理如圖1所示。兩個探針與編碼形成歐姆接觸,如熱探針比冷探針高25-100℃。電壓表跨接在兩個探針之間測量電勢差,極性的指示可判斷材料是N或者P型。

圖1 熱探針基本機理 圖1 熱探針基本機理

考慮圖示的N型樣品,多數載流子為電子。探針加熱時,電子的熱能比冷探針處的高,所以電子由於溫度梯度會從熱探針處擴散離開。若在熱探針和冷探針之間連線導線,將會得到可測量的電流,其方向對應圖1.

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