準分子雷射用聚光透鏡

準分子雷射用聚光透鏡是用於Kr*F準分子雷射（248 nm）或其它紫外線光源（193—400 nm）的空氣隙三合或雙合透鏡。它由準分子雷射用人造熔融石英玻璃製成。
在248 nm波長，對球差和彗差進行了最佳化；在193—400 nm波長範圍內對其進行了校正。由於透鏡是由同一材料製成，所以它不是消色差透鏡
F數≥2的三合透鏡和F數≥5的雙合透鏡，對於理想的高斯光束，設計時，其焦點光斑直徑和其衍射極限尺寸相同。