半導體的 深能級雜質可以提供電子和空穴複合的渠道,起“複合中心”的作用,其具體過程是,導帶電子落入深能級,然後再落入價帶的空能級;其總效果是消滅一對電子和空穴,即電子-空穴複合。這個過程也可以看做是深能級先後俘獲一個電子和一個空穴。複合的逆過程就是電子-空穴對的產生,它可以看做是深能級先後發射一個電子和一個空穴。
雜質能級的位置位於禁帶中心附近,電離能較大,在室溫下,處於這些雜質能級上的雜質一般不電離,對半導體材料的載流子沒有貢獻,但是它們可以作為電子或空穴的複合中心,影響非平衡少數載流子的壽命,這類雜質稱為深能級雜質。