深冷泵

深冷泵的工作原理是將一個能到-120℃以下的製冷盤管，放置在真空室中或油擴散泵的泵口，通過其表面的低溫冷凝效應，迅速捕集真空系統的殘餘氣體。從而大大縮短抽真空的時間（可縮短60-90%的抽氣時間）、獲得潔淨的真空環境（真空度可提高半個數量級，達到10 Torr、10 Pa)。

-135 ℃ 水汽捕集泵 -135℃Water vapor cryopump

套用原理 :

在使用油擴散泵的高真空環境中都存在著一定的殘餘氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點的蒸汽，但其抽除殘餘氣體的能力低，時間長，而且所有殘餘氣體還是工件的污染源，從而使產品的產量和質量受到影響。深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇。

在實際套用當中，根據所放的位置不同可以分為兩類（見圖）：

1 、水汽捕集器

它的製冷盤管經常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內、卷繞鍍膜上下室內等部位。適用於塑膠低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場合。盤管需要有加熱除霜裝置，使盤管每次開門之前恢復到常溫，避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結霜，影響下次抽真空。

2 、低溫冷阱

放在油擴散泵的泵口，高閥以下，它主要功能是防止油擴散泵返油，同時也可以加快抽速、提高真空度。由於系統處於真空狀態，無需除霜裝置。

根據需要 , 二者可以分別安裝也可以同時安裝 .