油增壓泵

油增壓泵是蒸汽流泵的一種，是利用室溫下飽和蒸汽壓強低於5×10Pa的增壓泵油，加熱到工作溫度後所產生的大量油蒸汽，分別由各級噴嘴噴出而得到的高速蒸汽射流作為介質。被抽氣體進入油蒸汽射流內，含氣體的油蒸氣射流到泵壁被冷卻，油蒸汽冷凝後返回油鍋，而氣體逐級被壓縮，最後被前級泵抽走。

油增壓泵的工作原理與油擴散泵相似，仍然是以靠工作射流來攜帶氣體，達到抽氣目的。不同點是油增壓泵的射流主要是以靠被抽氣體與蒸汽射流之間的粘滯摩擦來攜帶氣體進行抽氣。為使油增壓泵能在較高的壓強區域內工作，必須增大蒸汽射流強度(密度)，所以油增壓泵的加熱功率要比同容量的油擴散泵大得多。

油增壓泵的套用領域與油擴散泵相似，它可以廣泛套用於冶金、電子、化工、原子能工業、空間模擬試驗的各種真空爐和各種工藝過程放氣量較大的中真空鍍膜機及其它真空套用裝置，是中真空理想的獲得設備。它可以與閥門、管道、機械泵一起組成高效率的中真空抽氣系統；並且，油增壓泵工作壓強範圍比油擴散泵高(10～10Pa)，所以油增壓泵除作主泵外，還可作油擴散泵的前級泵，起增壓作用；此外，如果它與液氮等冷卻裝置組合，並加烘烤等措施，可獲得超高真空。