基本信息
氯矽烷中文名稱：氯矽烷
英文名稱：chlorosilicon
英文別名：EINECS 236-705-7;SiH3Cl;HSiCl;SiHCl;Silane,chloro;
CAS號：13465-78-6
分子式：ClHSi
分子量：66.56230
精確質量：65.96930
物化性質
熔點：-118ºC
沸點：4ºC
蒸汽壓：4920mmHg at 25°C
套用
氯矽烷能與含活潑氫的化合物進行激烈反應，如與水、醇、酚、矽醇、有機酸等，放出氯化氫。
與有機金屬化合物反應，氯原子被相應的有機基取代，生成有機氯矽烷或有機矽烷。
用作矽外延片生產過程中的矽源及製備有機氯矽烷的原料。
此外，四氯化矽(SiCl)和三氯矽烷(HSiCl)是提取高純度矽的的中間產物。分餾後，可以獲得99.999999999%（十一個9)純度的矽。
製備
可由矽粉與氯化氫於290～400℃反應來製取，也可由矽粉與氫和氯化氫的混合物，在氯化亞銅存在下，於250℃左右反應來製取。
健康危害
吸入、食入對眼和呼吸道黏膜有強烈刺激作用。高濃度下，會引起角膜混濁、呼吸道炎症，甚至肺水腫，並可伴有頭昏、頭痛、乏力、噁心、嘔吐、心慌等症狀。濺在皮膚上，可引起壞死、潰瘍，長期不愈。
急救措施
皮膚接觸：立即脫去污染的衣著，用流動清水沖洗15分鐘以上。若有灼傷，就醫治療。眼睛接觸：立即提起眼瞼，用流動清水沖洗15分鐘或用2%碳酸氫鈉溶液沖洗。吸入：迅速脫離現場至空氣新鮮處。注意保暖，保持呼吸道通暢。必要時進行人工呼吸。就醫。食入：患者清醒時立即漱口，給飲牛奶或蛋清，立即就醫。
泄漏處理
疏散泄漏污染區人員至安全區，禁止無關人員進入污染區，建議應急處理人員戴自給式呼吸器，穿化學防護服。不要直接接觸泄漏物，勿使泄漏物與可燃物質(木材、紙、油等)接觸，在確保全全情況下堵漏。噴水霧減慢揮發(或擴散)，但不要對泄漏物或泄漏點直接噴水。將地面灑上蘇打灰，然後用大量水沖洗，經稀釋的洗水放入廢水系統。如果大量泄漏，最好不用水處理，在技術人員指導下清除。
消防措施
滅火劑：用水霧、乾粉、泡沫或二氧化碳滅火劑滅火。避免使用直流水滅火，直流水可能導致可燃性液體的飛濺，使火勢擴散。
特別危險性：無資料。
滅火注意事項及防護措施：消防人員須佩戴攜氣式呼吸器，穿全身消防服，在上風向滅火。儘可能將容器從火場移至空曠處。處在火場中的容器若已變色或從安全泄壓裝置中發出聲音，必須馬上撤離。隔離事故現場，禁止無關人員進入。收容和處理消防水，防止污染環境。
