用此法製得的氣體是一種良好的保護氣體,可以廣泛地套用於半導體工業、冶金工業,以及需要保護氣氛的其他工業和科學研究中。有汽化器內,電加熱元件,氨氣減壓閥,等主要部件組成,
用液氨分解來製取保護氣體,在工業上是很容易實現的,這是因為:
1、氨易分解:常壓,800~850℃在催化劑作用下,即使空速較大,氨分解度仍可超過99%。
2、氣體精製容易:作為液氨純度是很高的,其中揮發性雜質只有少是惰性氣體和水分,特別值得注意的是其中含O2極微,同時,氨分解時不可能有副反應發生。由此可見,氨分解後氣體只要設法除去比較容易除去的少量水分就能得到精製了,半導體工業上所不希望存在的金屬離子cl、CO2等問題都不存在了。
3、原料液氨容易得到。價格低廉,而且原料消耗也比較少(每公斤氨可產生2.6M3混合氣體。)