真空計Penning真空計
Penning真空計是利用真空中的放電現象，測量中高真空領域的溫度計，測量性穩定，耐用性久為其特點。
Penning真空計構造原理
Penning真空計利用Penning放電現象。一般而言，冷陰極放出的電子比熱陰極少。單純在陰陽兩極間加電壓，如果壓力低於0.1Pa則不會持續放電。為了增加電子飛行距離，從外部加磁場，這樣可使在更低的壓力下也可放電。
Penning真空計特徵用途
Penning真空計測量性能穩定，可測量高真空領域的電流。因為是冷陰極方式，不必擔心電極的燒損問題。缺點是放電穩定性有一定不足。另外從陰極放出的電子量受表面污染影響嚴重。
根據以上特點，此真空計適合不想頻繁更換真空計的高真空領域設備上，同時因為此真空計本身有較強的磁場，要考慮其安裝在設備上的位置。
讓真空中的殘留氣體電離，通過測量電離生成的離子或電子的電流而得出氣體的壓力，這種真空計被稱為電離真空計。電離真空計讓有幾十eV的電子碰撞氣體分子使其電離。電子的產生方式有兩種：一種是加熱金屬絲放出熱電子(熱陰極)，另一種方式是利用電漿(冷陰極)。Penning真空計是冷陰極電離真空計的一種。
