樊中朝

基本信息

• 中文名：樊中朝
• 性別：男
• 國籍：中國
• 職業：副研究員，碩士生導師
  
• 畢業院校：河北師範學院

個人簡介

博士，副研究員，碩士生導師。

個人經歷

1998年於河北師範學院物理系獲物理教育專業理學學士學位。2001年於北方交通大學光電子技術研究所獲凝聚態物理專業理學碩士學位。 2004年於中國科學院半導體研究所獲微電子學與固體電子學專業工學博士學位, 期間主要從事矽基光波導器件設計及製備工藝方面的研究，作為主要參與者，參與完成973、863和國家自然科學基金重大項目各一項。同年7月進入中科院半導體所集成技術工程研究中心工作。

主要成就

在國內外核心期刊上發表和合作發表論文20餘篇，已獲授權專利4項。目前主要從事亞波長表面電漿金屬波導器件及其與SOI波導器件集成方面的研究，還從事多種材料ICP刻蝕機理及其在各種光電子、MEMS器件中的套用研究。