旋塗儀

英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機、勻膠台、旋轉塗膠機、旋轉塗膜機、旋轉塗層機、旋轉塗布機、旋轉薄膜機、旋轉塗覆儀、旋轉塗膜儀、勻膜機。

勻膠機適應於半導體矽片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，製版的表面塗覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點，並能保證半導體材料中塗膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。