人物生平
於欽少年時曾遊學於吳地。他才思敏明，博學多聞，一些飽學之士皆“折節與交”。集賢大學士郭公貫、浙江平章高公昉，最了解和佩服他的品行和才能。1319年(延祜六年)，以非凡的才幹被授予推西廉訪使者書吏，未數月，擢升為山東廉訪司照磨。其時適逢山東一帶連年大饑荒。他體恤民情，曾行至濱、棣2縣，見百姓生計艱窘，嗷嗷待哺，遂開倉濟民，按人口補給。百姓受惠，免受饑寒和流離失所之苦。他還奉命賑恤濟南6縣及鹽灶饑民。他勸令富戶出糧賑災，以致觸動權要，而被憲司以“出粟太多，賑濟太廣”為藉口，加以責問。當時饑民賣兒鬻女的很多，於欽到處查訪，盡力為他們贖回。有的同僚攻擊他這樣做是“違反常例，沽名釣譽”，他置之不理。
泰定初年，奸黨未盡，於欽心憂社稷，上書數百言，極陳逆順違從之故，奏請儘快懲治逆違者，但所涉及的都是顯官要臣，聞之者都為他懸心。他任職期間，振肅風紀，據經守律，銳意進取，因而受到忌恨者的讒言誣陷。後來，他出任總管，實際是明升暗貶。
人物評價
於欽精於方誌，他認為，詩可以“陶冶性情”，但真正“有關於當世，有益於後人”的事，莫如“著述以彰顯”，修志以傳世。他看到古代各地均有志書，惟山東多兵難，古代志乘蕩然無存，遂立志撰修齊地誌書。他經常對人說：“吾生長於齊，齊之山川、分野、城邑、地土之宜、人物之秀、此疆彼界，不可不纂而記之也。”
個人作品
他利用在山東任職之便，“周覽原隰，詢諸鄉老，考之水經、地記、歷代沿革，分門別類，為書凡六卷，名之曰《齊乘》”。《四庫全書總目提要》指出，“是書專記三齊輿地，凡分八類：曰沿革、曰分野、曰山川、曰都邑、曰古蹟、曰亭館、曰風土、曰人物”，“援據經史，考證見聞，較他志之但采輿圖，憑空言以論斷者，所得究多，故向來推為善本”；清代學者紀曉嵐對《齊乘》評價很高，說它“敘述簡核而淹貫，在元代地誌之中，最有古法。”歷代對《齊乘》都“推挹備至”。
於欽不僅擅長志乘，而且詩也寫得好，但多散佚。《益都先正詩叢鈔》收錄他的《博興風景》、《濟南作》、《東方朔祠》3首。他居官京師之時，曾題其齋曰“礨空”，並作《礨空銘》以記之。
於欽娶妻金氏，生2男，一名潛，一名溥；3女。於欽卒於1333年(至順四年)，終年50歲。
