掠射角沉積

掠射角沉積，glad（Glan gcin 是一種獲得專利的薄膜沉積的過程。

掠射角沉積，glad（Glangcing Angle Deposition),又可稱為 傾斜角沉積。
是一種獲得專利的薄膜沉積的過程。 由M. Brett and K. Robbie在1998年共同提出，並一起實現的沉積薄膜技術。主要原理是吸附原子擴散和核子的影蔽效應。可以製備出形貌可控的薄膜。