拋光液供給控制裝置

拋光液供給控制裝置包括透明導電玻璃基板的拋光設備的拋光液供給控制裝置，以及對使用此拋光液供給控制裝置的透明導電玻璃基板上透明導電膜的拋光過程拋光液流量供給的控制。

簡介

拋光設備的拋光液供給控制裝置，特別涉及透明導電玻璃基板的拋光設備的拋光液供給控制裝置，以及對使用此拋光液供給控制裝置的透明導電玻璃基板上透明導電膜的拋光過程拋光液流量供給的控制。

基本特徵

本實用新型的拋光液供給控制裝置，其在攪拌器上設定容器，容器經供液管與流量泵相連線，所述流量泵為設有流量控制功能的流量控制泵，流量控制泵為蠕動泵。本實用新型所述攪拌器為磁力攪拌器。本實用新型與現有技術相比，能在滿足拋光質量的前提下，為最大限度地降低拋光液的消耗提供了可靠的控制條件，降低拋光成本。用一次性使用的拋光液拋透明導電玻璃上的透明導電膜，將所述導電膜表面粗糙度控制在Ra≤1nm。