微接觸印刷

接著,PDMS壓模與墨的墊片接觸或浸在墨溶液中,墨通常採用含有硫醇的試劑。 然後將浸過墨的壓模壓到鍍金襯底上,襯底可以為玻璃、矽、聚合物等多種形式。 該方法缺點是在亞微米尺度,印刷時硫醇分子的擴散將影響對比度,並使印出的圖形變寬。

先通過光學或電子束光刻得到模板。壓模材料的化學前體在模板中固化,聚合成型後從模板中脫離,便得到了進行微接觸印刷所要求的壓模。常用材料是PDMS。接著,PDMS壓模與墨的墊片接觸或浸在墨溶液中,墨通常採用含有硫醇的試劑。然後將浸過墨的壓模壓到鍍金襯底上,襯底可以為玻璃、矽、聚合物等多種形式。另外,在襯底上可以先鍍上一薄層鈦層然後再鍍金,以增加粘連。硫醇與金髮生反應,形成自組裝單分子層SAM。印刷後有兩種工藝對其處理。一種是採用濕法刻蝕,另一種是在金膜上通過自組裝單層的硫醇分子來連結某些有機分子,實現自組裝,如可以用此方法加工生物感測器的表面。
微接觸印刷不但具有快速、廉價的優點,而且它還不需要潔淨間的苛刻條件,甚至不需要絕對平整的表面。微接觸印刷還適合多種不同表面,具有操作方法靈活多變的特點。該方法缺點是在亞微米尺度,印刷時硫醇分子的擴散將影響對比度,並使印出的圖形變寬。通過最佳化浸墨方式、浸墨時間,尤其是控制好壓模上墨量及分布,可以使擴散效應下降。

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