微區分析

微區分析是利用各種微束或探針技術來直接（原位）分析在光學顯微鏡下所選的微區物質的化學成分分析。

學科：岩礦分析與鑑定
詞目：微區分析
英文：microscopic analysis
釋文：許多微區分析手段可同時進行形貌觀察和結構測定。目前微區分析的空間解析度在微米級，檢出限在（1～500）×10^-6水平。較早使用的技術有雷射光譜、電子探針和各類電鏡。近年發展起來的有雷射燒蝕等離子質譜、二次離子探針質譜、掃描核探針和同步輻射X射線探針等。微區分析主要有兩種工作方式：一是定點分析，二是掃描分析。隨著各種微束技術的進步和地學微觀研究的需要，礦物岩石的微區、微粒研究得到迅速發展。