平面等厚干涉儀

平面等厚干涉儀 平面等厚干涉儀是採用等厚光波干涉原理，用於測量物體表面平面度的光學精密計量儀器。 按結構分為兩種：一種是用鈉光作為光源、不帶標準平面平晶的等厚干涉儀；另一種是用雷射作光源、帶標準平面平晶的雷射平面干涉儀。

平面等厚干涉儀

平面等厚干涉儀是採用等厚光波干涉原理，用於測量物體表面平面度的光學精密計量儀器。該儀器可用於光學車間、實驗室、計量室。按結構分為兩種：一種是用鈉光作為光源、不帶標準平面平晶的等厚干涉儀；另一種是用雷射作光源、帶標準平面平晶的雷射平面干涉儀。