壓電薄膜材料與器件製備技術

內容介紹張濤所著的《壓電薄膜材料與器件製備技術(材料科學與工程)》主要講述了壓電薄膜與壓電微型器件製備技術，主要內容分為引言、上篇、下篇和後記。 在引言部分，對全書內容做了總體介紹。 在後記部分，對全書內容進行了總結。

內容介紹

張濤所著的《壓電薄膜材料與器件製備技術(材料科學與工程)》主要講述了壓電薄膜與壓電微型器件製備技術，主要內容分為引言、上篇、下篇和後記。在引言部分，對全書內容做了總體介紹。在上篇中，介紹了薄膜材料基礎知識和基本製備方法，對當前國內壓電薄膜的研究進展做了簡單陳述，主要闡述高壓電性PzT基三元系鐵電薄膜PMnN—PZT的製備與表征。在下篇中，介紹了壓電器件的分類和聲學器件的基礎知識與進展，主要闡述了薄膜體聲波諧振器(FBAR)的理論仿真、模擬與性能最佳化方法。在後記部分，對全書內容進行了總結。
《壓電薄膜材料與器件製備技術(材料科學與工程)》可作為聲學、材料學、微電子學等相關專業研究生的教學參考用書，也可供聲學、壓電學、薄膜材料和微型機電器件研究領域的科研工作人員參考。