內容介紹
《現代聲學科學與技術叢書:聲表面波材料與器件》是作者十餘年工作的積累，是在獲得2007年國家技術發明獎和2009年國家科技進步獎的基礎上總結完成的。《聲表面波材料與器件》系統地介紹各類聲表面波器件用壓電材料和叉指換能器材料，各類聲表面波器件設計及聲表面波器件的製備工藝。形成一條從聲表面波器件的材料選擇，器件設計到工藝製備的主線。《現代聲學科學與技術叢書:聲表面波材料與器件》共6章。第1章介紹聲表面波技術的原理與發展歷程、聲表面波器件的特點與套用。第2章介紹聲表面波器件用的各類壓電材料壓電單晶、壓電陶瓷以及壓電薄膜的製備、性能與特點，重點介紹氧化鋅壓電薄膜材料製備與改性。第3章闡述叉指換能器的設計理論與叉指換能器材料。第4章介紹多層薄膜聲表面波器件的理論設計和具體實例。第5章介紹聲表面波濾波器、延遲線、諧振器和感測器的特點與設計。第6章介紹聲表面波器件的製備工藝及其表征方法。
