壓電納米定位台

壓電納米定位台是以壓電陶瓷作為驅動源，結合柔性鉸鏈機構實現X軸，Z軸，XY軸，XZ軸，XYZ軸精密運動的壓電平台，驅動形式 包含壓電陶瓷直驅機構式、放大機構式。運動範圍最大可達1mm，具有體積小、無摩擦、回響速度快等特點，配置高精度感測器，可以實現納米級解析度及定位精度且具有極高的可靠性，壓電納米定位台在精密定位領域中發揮著至關重要的作用。