某些電介質,當沿著一定方向對其施力而使它變形時,內部就產生極化現象,同時在它的兩個表面上產生符號相反的電荷,當外力去掉後,又重新恢復不帶電狀態,這種現象稱為壓電效應。利用這種效應可以把機械應力量轉換成電量。壓電半導體是兼有壓電性質的半導體材料。CdS、CdSe、ZnO、ZnS、CdTe、ZnTe等Ⅱ-Ⅵ族化合物,GaAs、GaSb、INAS、InSb、AIN等Ⅲ-Ⅴ族化合物都屬於壓電半導體。它們具有一定的離子性,當施以應變時,正負離子會分開一定的距離,產生電極化,形成電場,發生壓電效應。聲波在這些壓電材料中傳播時也會產生壓電電場,載流子便會受到該電場的作用。壓電半導體兼有半導體和壓電兩種物理性能,因此,既可用它的壓電性能研製壓電式力敏感測器,又可利用其半導體性能加工成電子器件,將兩者結合起來,就可研製出感測器與電子線路一體化的新型壓電感測測試系統。
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