垂直度測量儀
垂直度測量儀是運用氣浮原理實現精密導向的精密儀器，其主要用於如下幾個方面的測量：
1）檢測尺寸500mm內的00級、0級、1級、2級的各種類型直角尺的垂直度，以及被測面的直線度；
2）檢測尺寸至500×500mm方箱的各個工作面相互垂直度和平行度；
3）檢測0-500mm範圍內高精度的機械零件的垂直度。
這種儀器具有測量精度高、性能穩定、操作及維護方便的優點，但是由於技術難度較大，國內幾乎沒有生產，只有幾家公司在做，目前主要是已開發國家在生產。由於國外產品售價高，在我們國內沒有得到普及推廣。國內在檢測垂直度方面主要還是使用傳統的檢測方法，比如光隙法、手動打表法等，這些方法操作過程比較繁瑣，檢測效率也比較低。
結構原理
儀器包括導向裝置、測量裝置、驅動裝置、氣源控制裝置、輔助夾具、電腦等。
如何使用
儀器主要是運用氣浮與真空吸附原理進行測量的，在測量的過程中都必須有氣體作潤滑，所以開機後系統會對氣路氣壓進行檢測。當氣壓處在設定的範圍內時電機才能開始工作，否則系統蜂鳴器就會報警，電機無法啟動。滑台上下移動過程中，真空吸附滑台的正負壓氣路均要打開。使用前滑台的初始位置位於最低位置處（此時測頭距離大理石平板表面約10mm）。以下是具體使用方法。單個測量面器具
- 按下底部氣浮按鈕，使主體浮起，然後將測量儀移動到基準工作檯合適的位置，鬆開按鈕使主體底部與基準工作檯面接觸；
- 儀器復位（測頭距離基準工作檯面約10mm處）；
- 調整被檢器具位置使其被測量面與測頭相接觸，當測頭示值（通過TT20顯示盒可以看到示值）接近零時，使測頭讀數清零；
- 在軟體界面上輸入被檢器具的相關信息（如直角尺類型、生產單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期等），確定後點擊“開始測量”按鈕；
- 測量完畢後點擊軟體界面上的“記錄管理”按鈕查看檢測記錄，並進行列印等相關操作。
兩個測量面器具
- 按照以上步驟2-4測量第一個被測量面（外角α）；如下圖所示
- 第一個面測量完之後，軟體界面上會出現一個提示對話框，提示進入第二個測量面（γ角）的測量，根據提示，調整好被測器具第二個測量面與測頭的相互位置，當測頭示值接近零時，使測頭讀數清零，然後點擊軟體界面上的確定按鈕即可進行測量；
- 之後輸入兩個基面之間的平行度誤差，確定後軟體根據規程換算出內角β（換算公式見下圖所示）。
典型套用
- 三角形直角尺
- 刀口形直角尺
- 方形角尺
- 圓柱直角尺
- 平面形直角尺
- 高精度機械零件
