理化性質
（1）物理性質：無色易揮發液體。蒸汽壓 74.65kPa/20℃；熔點-99℃，沸點26～28℃，閃點<0℃，折射率1.3580，密度0.648g/cm 。溶解性：不溶於水，溶於醚等多數有機溶劑。
（2）化學性質：穩定，不被濃硫酸或強鹼分解。在紫外線照射下，可氯化成氯甲基三甲基矽烷。具有很高的熱穩定性，660～720℃下才開始分解。
製備與保存
製備
可由四氯矽烷或正矽酸乙酯與甲基碘化鎂反應來製取。也可由氯甲烷和矽粉，在銅催化劑存在下反應而製取。在高溫下反應然後仔細分餾製得。由於矽的電負性較低，對四個甲基上的氫原子影響較小，所以在核磁共振譜中能給出較強的信號和一個銳利的吸收峰，而其他一般有機化合物中的質子吸收峰都出現於它的左面。因此，在核磁共振譜中通常把TMS作為化學位移的內標，並把它的化學位移定為零。
保存
通常置於密封玻璃管內並貯存於冰櫃中。儲存於陰涼、乾燥、通風良好的庫房，遠離火種、熱源。庫溫不宜超過20℃。包裝必須密封，切勿受潮。應與氧化劑、酸類、鹼類分開存放，切忌混儲。採用防爆型照明、通風設備。禁止使用易產生火花的機械設備和工具。儲區應備有泄漏應急處理設備和合適的收容材料。
危險特性
遇高熱、明火、氧化劑有引起燃燒爆炸的危險。與強氧化劑發生反應，可引起燃燒。若遇高熱可發生劇烈分解，引起容器破裂或爆炸事故。
燃燒（分解）產物：一氧化碳、二氧化碳、氧化矽。
環境標準：前蘇聯（1975）車間衛生標準3500mg/m 。
對健康的影響：其侵入途徑為吸入、食入、經皮吸收。吸入、口服或經皮膚吸收對身體有害。具有刺激性。
應急處理處置方法
泄漏應急處理
迅速撤離泄漏污染區人員至安全區，並進行隔離，嚴格限制出入。切斷火源。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿消防防護服。不要直接接觸泄漏物。儘可能切斷泄漏源。防止進入下水道、排洪溝等限制性空間。小量泄漏：用砂土、乾燥石灰或蘇打混合。也可以用不燃性分散劑製成的乳液刷洗，洗液稀釋後放入廢水系統。大量泄漏：構築圍堤或挖坑收容；用泡沫覆蓋，降低蒸氣災害。用防爆泵轉移至槽車或專用收集器內，回收或運至廢物處理場所處置。
防護措施
呼吸系統防護：空氣中濃度超標時，應該佩戴過濾式防毒面具（全面罩）、自給式呼吸器或通風式呼吸器。
眼睛防護：必要時，戴化學安全防護眼鏡。
身體防護：穿防靜電工作服。
手防護：戴乳膠手套。
其它：工作現場嚴禁吸菸。工作畢，淋浴更衣。注意個人清潔衛生。
急救措施
皮膚接觸：脫去被污染的衣著，用肥皂水和清水徹底沖洗皮膚。
眼睛接觸：提起眼瞼，用流動清水或生理鹽水沖洗。就醫。
吸入：迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸。就醫。
食入：飲足量溫水，催吐，就醫。
滅火方法：噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。處在火場中的容器若已變色或從安全泄壓裝置中產生聲音，必須馬上撤離。滅火劑：泡沫、乾粉、二氧化碳、砂土。
