四探針電阻率測試儀

對於半導體材料的電阻率,一般採用四探針、三探針和擴展電阻。 電阻率是反映半導體材料導電性能的重要參數之一。 測量電阻率的方法很多,四探針法是一種廣泛採用的標準方法。

對於半導體材料的電阻率,一般採用四探針、三探針和擴展電阻
電阻率是反映半導體材料導電性能的重要參數之一。測量電阻率的方法很多,四探針法是一種廣泛採用的標準方法。它的優點是設備簡單、操作方便,精確度高,對樣品的形狀無嚴格要求。
最常用的是直線型四探針。四根探針的針尖在同一直線上,並且間距相等,都是S,一般採用0.5mm的間距,不同的探針間距需要對測量結果做相應的校正。
一般目前的四探針電阻率(電導率)測試儀均已配置厚度的修正,通過厚度數值的設定,計算出不同的樣品厚度對電阻率的影響。

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