出訪經歷
1994年2月－1996年7月，在香港科技大學電機與電子學系做RA。
1997年8月－1998年11月，在香港科技大學電機與電子學系做訪問學者 2000年3月－2001年2月，在香港科技大學電機與電子學系做訪問學者
2004年5月－2005年3月，在東京大學生產技術研究所做訪問教授
2005年12月，在法國斯特拉斯堡大學合作研究
社會兼職
大連理工大學感測技術研究所所長（現更名為微電子所）
中國儀器儀表學會儀表元件分會副理事長
中國儀器儀表學會感測器分會副理事長
中國儀器儀表學會微納器件與系統技術分會理事
科技部國際科技合作計畫項目評價專家
大連市信息化專家諮詢委員會委員
《感測技術學報》、《感測器與微系統》、《儀表技術與感測器》、
《黑龍江大學學報（自然科學）》編委
研究領域
研究領域
1. 積體電路設計及製造
2. 半導體感測器及其套用
3. 微器件中的微尺度輸運理論
在研項目
1. 國家自然科學基金重點項目“矽微傳聲器和微氣壓感測器及其陣列集成晶片系統研究”中“微氣壓感測器陣列集成晶片系統研究”。
2. 863重點項目“面向安全檢測與跟蹤網路化微系統”
3. 日本大金公司－清華大學研發中心項目“甲醛感測器研究”及“氣味檢測裝置研究”
4.教育部春暉計畫項目“超大規模積體電路測試技術研究”
招生專業
微電子學與固體電子學
電路與系統
物理電子學
指導研究
積體電路設計、製造及其套用技術；
半導體感測器開發及套用；
微器件中的微尺度理論和技術；
著作論文
近年來在國內外刊物和會議上發表論文100餘篇。近五年的主要論文有：
[1] Evaluation of momentum conservation influence in non-equilibrium
molecular dynamics methods to compute thermal conductivity,
Physica B, 373: 291-296，Elsevier, 2006.
[2] A micro-Pirani vacuum gauge based on micro-hotplate technology,
Sensors and Actuators A, 126:200-205, Elsevier, 2006.
[3] A Genetic Algorithm for Simultaneous Determination of Thin Films
Thermal Transport Properties and Contact Resistance, Journal of
Materials Science & Technology, 2005.
[4] 微熱板式低氣壓感測器的研製，半導體學報，第26卷第7期，2005年，
81－6。
[5] Size effect on heat transfer in micro gas sensors, Sensors and
Actuators, A: Physical,120(2): 397-402, Elsevier, 2005.
[6] 基於矽微加工工藝的微熱板傳熱分析，半導體學報，第26卷第1期，2004
年,192－6。
[7] In-plane thermal diffusivity measurement of thin films based on
the alternating-current calorimetric method using an optical
reflectivity technique, Chinese Physical Letters, Vol.21, No.4,
713-5, April 2004.
[8] An experimental study on high-temperature metallisation for micro-
hotplate-based integrated gas sensors, Sensors and Actuators B86，
1-11, Elsevier, 2002.
[9] Thermal measurement and analysis of micro-hotplate using
thermogrphy, Sensors and Actuators A:100, 144-152, Elsevier, 2002.
[10] An integrated gas sensor technology using surface micro-machining,
Sensors and Actuators B82, 277-283, Elsevier, 2002.
科研成果
遼寧省教委科技進步獎三等獎兩項
大連市政府技術開發一等獎一項
遼寧省政府科學技術獎三等獎一項
黑龍江省科學技術獎二等獎（進步類）
