圖書信息
作 者：(美國)梅(GaryS May) 李虹 馬俊婷
出版社： 機械工業出版社
出版時間： 2009年01月
ISBN: 9787111256656
開本： 16開
定價: 60.00 元
內容簡介
《半導體製造與過程控制基礎》詳細地研究並闡述了在高產量製造環境中，電子材料和供料轉換為完善的積體電路和電子產品的過程和方法。《半導體製造與過程控制基礎》討論與微電子器件和電路的工業水平製造相關的問題，包括（但不限於）製造、過程控制、試驗設計、過程建模、產出建模和CIM（計算機集成製造）／CAM（計算機輔助製造）系統。《半導體製造與過程控制基礎》包括對基本製造概念理論和實踐的描述，以及一些案例分析、典型問題和建議的練習。
《半導體製造與過程控制基礎》可作為相關專業研究生的教材，也可在半導體製造課程中使用。《半導體製造與過程控制基礎》也可作為半導體工業中實踐工程師和科研人員的參考書。
作者簡介
Gary S May博士，是喬治亞理工大學電子和計算工程學院的教授，他是IEEE會員和製造工程師協會的資深會員。在IC計算機輔助製造領域.他發表了150多篇文章，並作了100多場技術講座。
圖書目錄
譯者序
原書前言
第1章 半導體製造引論
第2章 技術縱覽
第3章 過程監控
第4章 統計基礎
第5章 產出建模
第6章 統計過程控制
第8章 半導體製造的過程建模
第9章 半導體製造的高級過程控制
第10章 半導體製造的過程與設備的故障診斷
附錄
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