基本信息
出版社: 上海交通大學出版社; 第1版 (2011年1月1日)
精裝: 398頁
正文語種: 簡體中文
開本: 16
ISBN: 7313063156, 9787313063151
條形碼: 9787313063151
產品尺寸及重量: 23.2 x 17.8 x 2.8 cm ; 699 g
ASIN: B004JQP4WA
內容簡介
《半導體晶片製造系統建模與最佳化調度控制》在總結國內外研究發展現狀的基礎上，著重介紹作者多年來對半導體晶片製造系統建模、調度、產能規劃等方面的研究成果。主要包括：半導體晶片製造系統的特點、生產調度控制的難點及國內研究現狀，拓展型面向對象Petri網的層次化建模方法，基於規則和基於模型的實時派工控制模型，ReS2仿真平台的基本架構及關鍵技術，基於隨機規劃的晶片製造系統產能規劃方法，基於多規則組合的兩階段的多目標最佳化調度方法，基於問題分解的智慧型調度方法，動態瓶頸的調度策略及基於約束權重的動態在制品水平控制方法，時變多目標最佳化調度方法。
《半導體晶片製造系統建模與最佳化調度控制》的主要讀者對象是從事半導體晶片製造系統計畫、調度控制等相、關領域的研究人員以及晶片製造的生產管理和相關領域的工程技術人員。此外，《半導體晶片製造系統建模與最佳化調度控制》對於那些從事其他製造系統研究和從事生產管理的人員也具有參考價值。
第1章 半導體晶片製造概述
1.1 概述
1.1.1 半導體產業概況
1.1.2 半導體晶圓製造系統特徵
1.1.3 半導體晶圓製造系統調度現狀
1.2 半導體晶圓製造系統簡介
1.2.1 半導體晶圓製造過程
1.2.2 生產績效指標
1.3 半導體晶圓製造系統建模研究
1.3.1 研究狀況簡介
1I3.2 建模方法小結
1.4 半導體晶圓製造系統調度方法
1.4.1 啟發式規則
1.4.2 數學規劃法
1.4.3 計算智慧型
1.4.4 人工智慧
1.4.5 規則組合調度方法研究現狀
1.4.6 SWFS調度方法小結
參考文獻
第2章 基於拓展型面向對象Petri網的SWFS建模與分析
2.1 引言
2.2 拓展型面向對象Petri網的定義
2.2.1 EOPNs的定義
2.2.2 對象
2.2.3 對象互連機制
2.3 EOPNs的建模過程
2.3.1 單個設備的OPN模型
2.3.2 工作站的OPNs模型
2.3.3 加工區域的EOPNs模型
2.3.4 系統的EOPNs模型
2.4 系統建模案例
2.5 EOPNs模型的動態性能分析
2.5.1 死鎖分析
2.5.2 EOPNs模型的衝突分析
2.6 小結
參考文獻
第3章 基於賦時EOPNs模型的自治與協調實時派工機制
3.1 引言
3.2 “建模-控制-仿真”一體化方法
3.3 基於賦時EOPNs的SWFS性能建模
3.4 基於賦時EOPNs的實時狀態監控系統
3.4.1 晶圓加工機器的實時狀態監控器
3.4.2 在制品緩衝區和自動存取機的實時狀態監控器
3.5 基於自治與協調的實時派工機制
3.5.1 基於賦時EOPNs模型的混合式實時派工控制系統
3.5.2 基於自治與協調的實時派工機制
3.5.3 基於自治與協調的動態瓶頸實時派工算法
3.5.4 其他算法在基於自治與協調實時派工機制下的套用
3.6 小結
參考文獻
第4章 晶片製造系統仿真平台及仿真分析
4.1 引言
4.2 SWFS調度系統模型
4.2.1 系統功能模型
4.2.2 系統數據模型
4.2.3 系統流程模型
4.3 仿真平台系統框架
4.4 仿真方法和策略
4.5 晶圓製造系統仿真對象狀態圖
4.6 基於仿真的調度系統開發
4.6.1 系統設計
4.6.2 調度系統輸入界面介紹
4.6.3 資料庫設計
4.6.4 系統輸出介紹
4.7 基於EOPNs理論的SWFS建模方法的實驗
4.7.1 實驗方案
4.7.2 實驗結果與分析
4.8 ReS2原型系統的驗證
4.9 基於仿真資源配置分析與調整
4.10 基於自治與協調的動態瓶頸實時派工算法仿真
4.10.1 實驗方案
4.10.2 仿真實驗結果及分析
4.11 小結
參考文獻
第5章 晶片製造系統產能規劃
5.1 引言
5.2 國內外研究進展
5.2.1 兩階段SP模型
5.2.2 多階段SP模型
5.3 面向需求預測周期和產能擴張周期不一致的產能擴張
5.3.1 問題描述和建模
5.3.2 一般模型
5.3.3 改進模型
5.3.4 驗證模型
5.3.5 案例研究
5.3.6 本節小結
5.4 面向需求與產能不確定的產能擴張計畫研究
5.4.1 問題描述與建模
5.4.2 近似模型
5.4.3 求解策略
5.4.4 案例研究
5.4.5 本節小結
5.5 小結
參考文獻
附錄
第6章 基於規則組合的自適應最佳化調度方法
6.1 引言
6.2 基於仿真最佳化的兩階段規則組合調度方法
6.2.1 仿真最佳化問題
6.2.2 兩階段調度方法框架
6.2.3 基於自治與協調的規則分類及組合
6.2.4 第一階段：基於序最佳化理論的組合規則選擇
6.2.5 第二階段：基於回響曲面法的組合參數最佳化
6.3 基於序最佳化理論的規則選擇方法
6.3.1 規則選擇方法框架
6.3.2 最優計算量分配技術
6.3.3 近似模型與精確模型構建
6.3.4 Benchmark仿真模型描述
6.4 基於序最佳化的單目標規則選擇
6.4.1 實驗參數設定
6.4.2 單目標規則選擇求解過程
6.5 基於向量序最佳化的多目標規則選擇
6.5.1 實驗參數設定
6.5.2 分層算法
……
第7章 晶片製造系統智慧型調度方法
第8章 面向並頸控制的SWFS調度方法
第9章 SWFS的時變多目標生產調度方法
