勵德微系統科技有限公司

西安勵德微系統科技有限公司（LeadMEMS 公司目前已開發成功了廣受好評的泛結構化MEMS集成設計工具軟體，打破了國外產品壟斷。 公司目前在微型掃描鏡以及微型光柵方面取得了國內領先地位，公司還可以提供MEMS的加工技術服務，工藝機構設計以及MEMS結構版圖繪製諮詢

基本信息

• 中文名稱：勵德微系統科技有限公司

西安勵德微系統科技有限公司（LeadMEMS Sci&Tech）創辦於2010年10月，是由西北工業技術研究院和陝西省微/納米系統實驗室共同投資成立，是以MEMS微機電系統為開發方向的高科技企業，公司擁有專業穩定的研發團隊（本科以上學歷占比為72%），同時實驗室擁有無塵室700平方米，各類微加工設備40餘台，總值三千萬元，具備多種微加工和微器件的靜態、動態性能測試能力。公司目前已開發成功了廣受好評的泛結構化MEMS集成設計工具軟體，打破了國外產品壟斷。公司目前在微型掃描鏡以及微型光柵方面取得了國內領先地位，公司還可以提供MEMS的加工技術服務，工藝機構設計以及MEMS結構版圖繪製諮詢
公司對外提供的MEMS工藝服務包括：單面光刻/雙面光刻，矽-玻璃陽極鍵合，KOH/TMAH濕法腐蝕，乾/濕法氧化，多晶矽/氮化矽/二氧化矽低壓化學氣相沉積（LPCVD），多晶矽/氮化矽/二氧化矽反應離子刻蝕（RIE），矽深槽刻蝕（DRIE），化學機械拋光（CMP），快速熱退火（RTA），劃片，平行縫焊，台階測試，表面輪廓測試，雷射都卜勒測試，方塊電阻測試，IV測試，CV測試等。