西安勵德微系統科技有限公司

以航空/航天、工業檢測和汽車電子為核心業務，提供半導體和微系統工藝服務、設計諮詢和設計軟體銷售。 公司提供MEMS感測器、MEMS執行器等相關集成微系統，公司致力於MEMS工藝研發，並已在MEMS微型掃描鏡(扭轉鏡)以及MEMS微型光柵發麵取得了國內領先地位！ 公司並提供MEMS的加工技術服務，工藝機構設計以及MEMS結構版圖繪製諮詢。

基本信息

• 中文名稱：西安勵德微系統科技有限公司

西安勵德微系統科技有限公司是由西北工業技術研究院和陝西省微/納米系統實驗室共同投資成立，是由一批微機電系統、光電檢測和半導體製造等領域的技術專家和優秀管理人才組成的高科技企業。以航空/航天、工業檢測和汽車電子為核心業務，提供半導體和微系統工藝服務、設計諮詢和設計軟體銷售。實驗室擁有無塵室700平方米，各類微加工設備40餘台，總值3000萬元，具備多種MEMS微加工和微器件的靜態、動態性能測試能力。公司提供MEMS感測器、MEMS執行器等相關集成微系統，公司致力於MEMS工藝研發，並已在MEMS微型掃描鏡(扭轉鏡)以及MEMS微型光柵發麵取得了國內領先地位！公司並提供MEMS的加工技術服務，工藝機構設計以及MEMS結構版圖繪製諮詢。
公司對外提供的MEMS工藝服務包括：單面光刻/雙面光刻，矽-玻璃陽極鍵合，KOH/TMAH濕法腐蝕，乾/濕法氧化，多晶矽/氮化矽/二氧化矽低壓化學氣相沉積（LPCVD），多晶矽/氮化矽/二氧化矽反應離子刻蝕（RIE），矽深槽刻蝕（DRIE），化學機械拋光（CMP），快速熱退火（RTA），劃片，平行縫焊，台階測試，表面輪廓測試，雷射都卜勒測試，方塊電阻測試，IV測試，CV測試等。